DLTFS. elektrochemické leptanie. DLTS. čierny kremík. chemické leptanie. DLTS. DLTFS. black silicon. chemical etching. electrochemical etchingSvitač, Erik Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka. -- 2019. -- 61 s., CD-ROM. Kósa, Arpád