Photovoltaics. PECVD. DC characterization. impedance spectroscopyPerný, Milan, 1985- Optimization of technology of amorphous silicon carbide thin layers / aut. Milan Perný, Vladimír Šály, Michal Váry. Šály, Vladimír, 1956-. Váry, Michal, 1979- In: ELOSYS. Elektrotechnika, informatika a telekomunikácie 2015. -- CD-ROM, 193 s.. -- 978-80-227-4437-9 Konferencia s medzinárodnou účasťou Elektrotechnika, informatika a telekomunikácie. -- Bratislava : Nakladateľstvo STU v Bratislave, 2015. -- CD-ROM, S. 116-120.