Mikroelektronika. iónové leptanie. laserové leptacie procesyParízek, Jaroslav Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 / [aut.] Parízek,Jaroslav, Ing.; Škol. Harman,Rudolf. -- Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1993. -- 137 s : lit.,príl + Autoref.1993, 19 s. Harman, Rudolf