Effect of mask material on the side walls angle of boron doped diamond patterns etched in various types of plasma / aut. Marián Marton
Marton Marián ; 033000  Ritomský Mário Řeháček Vlastimil ; 033000 Michniak Pavol ; 033000 Behúl Miroslav ; 033000 Redhammer Robert ; 003000 Vojs Marian ; 033000
MME 2018 : . S. 150-155
článok zo zborníka
AFD - Publikované príspevky na domácich vedeckých konferenciách
V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka