Technologické procesy a ich modelovanie : Príručka na cvičenia
Vanek Oldřich  Minársky Eduard Kempný Milan ; E210
1. vyd.
Bratislava : STU v Bratislave, 1995 . - 161 s
ISBN 80-227-0763-5
Mikroelektronika polovodičové materiály polovodičové štruktúry technológia výroby polovodičových štruktúr príprava tenkých vrstiev
skriptá