Názvové údaje : Comparison of Al and Cu masks used for patterning boron-doped diamonds in oxygen plasma / aut. Marián Marton, Mário Ritomský, Vlastimil Řeháček, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Patrik Novák, Ľubomír Vančo, Marian Vojs Variant(y) hesla : \q12*stu_us_auth*1 stu50362 \q \q1013 stu_us_auth*stu50362 \d Marton Marián \q ; 033000  %continue : \q12*stu_us_auth*1 0016260 \q \q1013 stu_us_auth*0016260 \d Ritomský Mário \q \q12*stu_us_auth*1 stu36850 \q \q1013 stu_us_auth*stu36850 \d Řeháček Vlastimil \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu81363 \q \q1013 stu_us_auth*stu81363 \d Michniak Pavol \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu127564 \q \q1013 stu_us_auth*stu127564 \d Behúl Miroslav \q ; 033000 \q12*stu_us_auth*1 stu100125 \q \q1013 stu_us_auth*stu100125 \d Novák Patrik \q ; 036000 \q12*stu_us_auth*1 stu109019 \q \q1013 stu_us_auth*stu109019 \d Vančo Ľubomír \q ; 902640 \q12*stu_us_auth*1 stu45741 \q \q1013 stu_us_auth*stu45741 \d Vojs Marian \q ; 033000 In : \q12**1 0077934 \q %continue : Journal of micromechanics and microengineering : %continue : . Vol. 29, No. 12 (2019), Art. no. 124004 [9] s. Predmet : \q12*stu_us_auth*1 0005949 \q \q1013 stu_us_auth*0005949 \d boron doped diamond \q \q12*stu_us_auth*1 0043566 \q \q1013 stu_us_auth*0043566 \d micro-patterning \q \q12*stu_us_auth*1 0043567 \q \q1013 stu_us_auth*0043567 \d plasma etching \q URL : https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6439/ab4d6f Druh dok. : článok z periodika Kategória : ADC - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch Kategória od 2022 : V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu