Názvové údaje : AES, SIMS a SEM v diagnostike technologických krokov v mikroelektronike a mikromechanike / aut. Magdaléna Matečková, Jozef Kocanda, Juraj Breza, Marián Veselý, Vladimír Fesič Variant(y) hesla : \q12*stu_us_auth*1 stu57700 \q \q1013 stu_us_auth*stu57700 \d Matečková Magdaléna \q ; E030  %continue : \q12*stu_us_auth*1 stu7823 \q \q1013 stu_us_auth*stu7823 \d Kocanda Jozef \q \q12*stu_us_auth*1 stu7682 \q \q1013 stu_us_auth*stu7682 \d Breza Juraj \q ; E030 \q12*stu_us_auth*1 stu26657 \q \q1013 stu_us_auth*stu26657 \d Veselý Marián \q ; E030 \q12*stu_us_auth*1 stu34875 \q \q1013 stu_us_auth*stu34875 \d Fesič Vladimír \q In : \q12**1 0008385 \q %continue : Jemná mechanika a optika : %continue : . Roč. 38, č. 12 (1993), s. Druh dok. : článok z periodika Kategória : ADE - 12/Vedecké práce v zahraničných nekarentovaných časopisoch ; 13/Vedecké práce v ostatných zahraničných časopisoch Kategória od 2022 : V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu