Sputter deposition of Mo-based multicomponent thin films from rotatable targets: Experiment and simulation / aut. Martin Rausch, Márius Pavlovič, Patrice Kreiml, Megan J Cordill, Jörg Winkler, Christian Mitterer
Rausch Martin  Pavlovič Márius ; 036000 Kreiml Patrice Cordill Megan J. Winkler J Mitterer Christian
Applied Surface Science . Vol. 455, (2018), s. 1029-1066
magnetron sputtering thin films rotatable target Ar plasma SRIM scattering
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0169433218315782
článok z periodika
ADC - Vedecké práce v zahraničných karentovaných časopisoch
V3 - Vedecký výstup publikačnej činnosti z časopisu