Využitie progamu SRIM na simuláciu iónovej implantácie s využitím masiek
Cibula Marcel  Pavlovič Márius (škol.) ; E060
Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2007
FEI ; . - 55 s
elektromateriálové inžinierstvo SRIM iónová implantácia
diplomová práca