Výsledky vyhľadávania
- Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Vol. 1 : Microlithography
Rai-Choudhury P. (zost.)
London : The Institution of Electrical Engineers, 1997
Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1997 . - 768 s
ISBN 0-8194-2378-5
mikrolitografia mikroobrábanie mikrovýroba nanotechnológie integrované obvody polovodičové zariadenia polovodičové súčiastky
učebnicaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 0 0 0 1 
kniha
- Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K
Middleman Stanley Hochberg Arthur K
1.vyd.
New York : McGraw-Hill, 1993 . - 774 s
ISBN 0-07-041853-5
polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie
monografiaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 0 1 0 0 kniha
- Príspevok k riešeniu problematiky využitia elektrónovej litografie v mikroelektronike : Kand.diz.práca : V.odb. 11-22-9 : Obh. 23.04.1987 / [aut.] Hudek,Peter, Ing.; Škol. Hozza,Viktor
Hudek Peter Hozza Viktor (škol.)
Bratislava : SVŠT v Bratislave EF, 1986 . - 163 s : príl. 23 s + Autoref.1986, 25 s
akustika prenos obrazov mikrolitografia
dizertačná prácaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 1 0 0 0 kniha