Výsledky vyhľadávania

Nájdených záznamov: 4  
Váš dotaz: Autor-kód záznamu = "^stu_us_auth stus2686^"
  1. Suché plazmatické leptanie a tvarovanie mikroštruktúr pre aplikácie v mikroelektronike a senzorike : V.odb. 26-13-9 : dát.obhaj. 16.5.2010
    Haščík Štefan  Hotový Ivan (škol.) ; E030 Lalinský Tibor (škol.)
    Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2009
    FEI ; . - 107 s
    Mikroelektronika laserové leptacie procesy elektronika plazmové leptanie suché leptanie senzory
    dizertačná práca
    DAI - Dizertačné a habilitačné práce
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI1000
    kniha

    kniha

  2. Silicon micromachining / M. Elwenspoek and H.V. Jansen
    Jansen Henri V.  Elwenspoek Miko
    Cambridge : Cambridge University Press, 1998 . - 405 s
    ISBN 0-521-59054-X
    mikrosystémy MST Kremík fyzika polovodičov plazmové leptanie mikroobrábanie mokré leptanie suché leptanie
    učebnica
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI0001
    kniha

    kniha

  3. Plazmatické techniky
    Brčka Jozef 
    Bratislava : STU v Bratislave, 1996 . - 169 s
    ISBN 80-227-0819-4
    plazmové spracovanie tenké vrstvy polovodičové materiály fyzika povrchov Pokovovanie plazmové leptanie vákuové systémy
    monografia
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI4001
    kniha

    kniha

  4. Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K
    Middleman Stanley  Hochberg Arthur K
    1.vyd.
    New York : McGraw-Hill, 1993 . - 774 s
    ISBN 0-07-041853-5
    polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie
    monografia
    Fakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné
    FEI0100
    kniha

    kniha



  Tieto stránky využívajú súbory cookies, ktoré uľahčujú ich prezeranie. Ďalšie informácie o tom ako používame cookies.