Výsledky vyhľadávania
- Application of polyimide films in microelectronics = Využitie polyimidových vrstiev v mikroelektronike : V. odb. 26-13-9. Obhajoba 21.11.2001
Andok Robert Csabay Otto (škol.) ; E210 Hudek Peter (škol.)
Bratislava : STU v Bratislave FEI, 2001
FEI ; . - 133 s
elektronika Mikroelektronika polovodičové štruktúry príprava tenkých vrstiev fyzika polovodičov polyimidy iónové leptanie
dizertačná práca
DAI - Dizertačné a habilitačné práceFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 1 0 0 0 - Suché leptanie polovodičov podporované svetelným žiarením : Kand.diz.práca : V.odb. 26-11-9 : Obh. 13.04.1994 / [aut.] Parízek,Jaroslav, Ing.; Škol. Harman,Rudolf
Parízek Jaroslav Harman Rudolf (škol.)
Bratislava : STU v Bratislave FEI, 1993 . - 137 s : lit.,príl + Autoref.1993, 19 s
Mikroelektronika iónové leptanie laserové leptacie procesy
dizertačná prácaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 1 0 0 0 - Process engineering analysis in semiconductor device fabrication / [aut.] Middleman,Stanley; Hochberg,Arthur K
Middleman Stanley Hochberg Arthur K
1.vyd.
New York : McGraw-Hill, 1993 . - 774 s
ISBN 0-07-041853-5
polovodiče polovodičové materiály fyzika tuhých látok mikrolitografia iónová implantácia plazmové leptanie iónové leptanie Pokovovanie
monografiaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 0 1 0 0 - Handbook of plasma processing technology : Fundamentals, etching, deposition and surface interactions / Edit.: Rossnagel,Stephen M. a i
Rossnagel Stephen M (zost.)
1.vyd.
Park Ridge : Noyes Publications, 1989 . - 523 s
ISBN 0-8155-1220-1
plazma fyzika polovodičov iónové leptanie fyzika povrchov Mikroelektronika
monografiaFakulta Voľné Prezenčne Vypožičané Nedostupné FEI 0 0 0 1 - Monitoring and control of plasma-enhanced processing of semiconductors : Konf. Santa Clara, California, 1.- 2. November 1988 / Edit.: Griffiths,James E
Griffiths James E (zost.)
Bellingham : SPIE - The International Society for Optical Engineering, 1988 . - 147 s
ISBN 0-8194-0072-6
polovodiče polovodičové zariadenia Mikroelektronika plazmy obohatená plazma plazmové spracovanie iónové leptanie MBE tenké vrstvy
zborník