Using Spreading Resistance Profiling and Simulations for Monitoring of Phosphorus Contamination in Ion Implantation of Arsenic

Počet záznamov: 1

Údaje o názve	Using Spreading Resistance Profiling and Simulations for Monitoring of Phosphorus Contamination in Ion Implantation of Arsenic
Záhlavie-meno	Kuruc, Marián (Autor)
Ďal.zodpovednosť	Hulényi, Ladislav, 1938- (Autor) - FEI Katedra mikroelektroniky
	Kinder, Rudolf, 1940- (Autor) - FEI Ústav elektroniky a fotoniky
In	EDS´08. Electronic Devices and Systems IMAPS CS International Conference 2008 : Brno, Czech Republic, 10.-11.9.2008. -- Brno : VUT v Brně, 2008. -- ISBN 978-80-214-3717-3. -- s.103-108
Jazyk dok.	angličtina
Druh dok.	RZB - článok zo zborníka
Kategória	AFC - Publikované príspevky na zahraničných vedeckých konferenciách
Kategória od 2022	V2 - Vedecký výstup publikačnej činnosti ako časť editovanej knihy alebo zborníka
Rok	2008

článok

citace PRO

Počet záznamov: 1